APPLIKATIONEN

Messkoffer für die Waferherstellung

Für die Firma EPCOS in München wurde ein spezieller Messkoffer zusammengestellt.
Der Koffer ist mit einem ALMEMO 2290-8 Datenlogger, diversen Sensoren und 5 Wafern mit je 5 Pt 100 Sensoren bestückt. Dabei wurden die Wafer von EPCOS zur Verfügung gestellt und mit einem ALMEMO-Fühler, dem Pt 100 Sensorelement PT802 ausgestattet. Diese Sensoren sind mit einem 4-adrigen, nur 1mm starken Teflonkabel versehen und wurden nach Vorgabe von EPCOS mit einem 2-Komponentenkleber und Zugentlastung aufgebracht . Die Messwafer müssen im Einsatz einer Dauertemperatur von 120 °C wiederstehen. Mit Hilfe dieses Messverfahrens werden Temperiervorgänge beim Beschichtungsprozess der Waferherstellung kontrolliert. Die Messeinrichtung wird von der Firma EPCOS in München und in Singapore eingesetzt und hat sich bestens bewährt.
H. Trinczek